電阻式傳感器是在單晶硅片上擴(kuò)散一個(gè)惠斯通電橋,被測(cè)介質(zhì)(氣體或液體)施壓使橋壁電阻值發(fā)生變化(壓阻效應(yīng)),產(chǎn)生一個(gè)差動(dòng)電壓信號(hào),此信號(hào)經(jīng)專用放大器,將量程相對(duì)應(yīng)的信號(hào)轉(zhuǎn)化成標(biāo)準(zhǔn)模擬信號(hào)或數(shù)字信號(hào)。電阻式傳感器是由硅制成,通過金屬間的粘結(jié)作用接合到鋼基板上。
電容式傳感器是以各種類型的電容器作為傳感元件,由于被測(cè)量變化將導(dǎo)致電容器電容量變化,通過測(cè)量電路,可把電容量的變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。測(cè)知電信號(hào)的大小,可判斷被測(cè)量的大小。這就是電容式傳感器的基本工作原理。
電容式傳感器與電阻式傳感器相比是有很多優(yōu)點(diǎn)的,像是電容式傳感器穩(wěn)定性好、測(cè)量精度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便,電容式傳感器具備更高的壓力靈敏度和更低的溫度靈敏度。電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān),有利于選擇溫度系數(shù)低的材料,又因本身發(fā)熱極小,對(duì)穩(wěn)定性影響甚微。電阻式傳感器結(jié)構(gòu)小巧、安裝方便、相對(duì)電容式傳感器更具有價(jià)格上的優(yōu)勢(shì)。
電阻式傳感器與電容式傳感器是實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程自動(dòng)化不可缺少的工具之一。
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